扫描电子显微镜（SEM）
一、仪器名称
扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）
二、仪器作用
利用电子束扫描样品表面，获取材料微观形貌、表面结构、颗粒形态、断面特征，可搭配能谱分析元素组成，放大倍数高、成像清晰。
三、应用领域
材料科学（金属、陶瓷、高分子、粉末）、地质矿产（矿物结构）、生物医药（细胞、组织）、电子元器件（芯片、镀层）、失效分析（断口、缺陷）。
四、仪器数据举例
| 检测参数 | 技术指标 | 观测示例 |
|---|
| 放大倍数 | 10~300000 倍 | 粉末颗粒形貌 |
| 分辨率 | 3.0nm（二次电子） | 金属断面微观结构 |
| 元素分析 | C~U 元素定性半定量 | 镀层元素分布 |
