X 射线光电子能谱仪（XPS）
一、仪器名称
X 射线光电子能谱仪（X-Ray Photoelectron Spectrometer，XPS）
二、仪器作用
材料表面元素定性、定量、化学价态分析，检测样品表面 1~10nm 深度的元素组成、价态、分布，适用于表面涂层、薄膜、界面分析。
三、应用领域
电子材料（芯片、薄膜）、金属表面（镀层、氧化层）、高分子（表面改性）、催化剂（表面价态）、环保（污染物表面分析）。
四、仪器数据举例
| 检测参数 | 检测范围 | 检出限 | 精度 |
|---|
| 元素分析 | Li~U | 0.1at% | ±0.5at% |
| 价态分析 | 全元素价态 | —— | 精准判定 |
| 深度剖析 | 0~10nm | ±0.1nm | 逐层分析 |
